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半導體行業(yè)一、行業(yè)概述: 半導體行業(yè)主要分為集成電路、光伏和半導體LED等。 二、廢氣分類: 在半導體制造廠,依照系統(tǒng)廢氣排放可分為:一般排氣(GEX)、酸性排氣 (SEX)、堿性排氣 (AEX)和有機排氣 (VEX) 三、廢氣處理方案: 1、一般排氣系統(tǒng): 一般排氣 (GEX)系統(tǒng)也稱為熱排氣系統(tǒng) ,生產(chǎn)過程中一些設備局部會產(chǎn)生大量的熱或產(chǎn)生會對高潔凈度生產(chǎn)環(huán)境造成影響的含塵無害氣體。為了滿足半導體制程對環(huán)境溫濕度((22±1)℃,(45±5)%)和潔凈度的極高要求 ,可將此種廢氣通過風管系統(tǒng)進行收集,然后以風機抽取并排放。雖然一般排氣用于抽取設備的含塵排放,但由于一般排氣系統(tǒng)抽取的氣體直接來自潔凈室內(nèi),且設備含塵排放濃度很低,因此在總風管處檢測的結果仍為潔凈級別,屬于室溫范圍。因此 GEX可以直接排放至大氣環(huán)境 ,不需做任何處理 ,為無害排放。 2、酸堿廢氣處理系統(tǒng): 半導體制造中產(chǎn)生的酸性和堿性廢氣采用分別收集、分別處理的方法,處理設備和處理原理基本相同。對于含有 酸性/堿性物質(zhì)的廢氣 ,大都采用大型洗滌式中央廢氣處理系統(tǒng)進行處理。由于半導體制造工作區(qū)域離中央廢氣處理系統(tǒng)距離較遠 ,因此部分酸性/堿性廢氣在輸送至中央廢氣處理系統(tǒng)前,常因氣體特性導致在管路中結晶或粉塵堆積,造成管路堵塞后導致氣體外泄,嚴重者甚至引發(fā)爆炸,危害現(xiàn)場工作人員的工作安全。因此在工作區(qū)域需配置適合制程氣體特性的就地廢氣處理設備進行就地處理 ,之后再排入中央處理系統(tǒng),而一些特殊的廢氣,包括劇毒、自燃、易爆等廢氣則需要先通過干式洗滌塔等設備通過吸附或氧化/燃燒等方法就地處理,之后再排人中央廢氣處理系統(tǒng) 。 3、有機廢氣處理系統(tǒng): 半導體制造過程中排放的含有有機成分的廢氣通常采用直接焚燒、活性炭吸附、生物氧化等方法進行處理。只有較高濃度的有機廢氣才建議直接焚燒;活性碳吸附的方法,只有極低濃度的有機廢氣才建議使用。但由于其材料特性,存在易燃燒、水分敏感度高、脫附后殘留負荷高等缺點,中高濃度基本不再使用;半導體制造的有機廢氣排放特點是濃度較低,但排風量較大,因此必須考慮將有機廢氣濃縮后再進行焚燒處理。沸石濃縮轉(zhuǎn)輪系統(tǒng)和焚化爐焚化系統(tǒng)的組合可以很好地解決這一問題。 |